中频磁控溅射是磁控溅射镀膜的主流技术,它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象;减弱靶的异常弧光放电。因此,提高了溅射过程的工艺稳定性,同时,提高了介质膜的沉积速率数倍。
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中频磁控溅射镀膜广泛应用于钟表首饰、厨卫洁具、日用五金、电子产品、汽车配件等的装饰膜,以及发动机用耐磨零件、刀具、模具等表面高硬度、抗磨损、抗腐蚀性膜的制备。
可制备TiN、TiCN、TiC、TiO2、TiAlN、CrN、ZrN、类金刚石薄膜等金属化合物膜层,可镀制金色、玫瑰金、仿金、咖啡色、枪黑色、银白色、紫色、黑色、七彩色等颜色。
备注:设备可根据客户要求定制。