中频磁控溅射镀膜设备

中频磁控溅射是磁控溅射镀膜的主流技术，它优于直流磁控溅射镀膜的特点是克服了阳极消失现象；减弱靶的异常弧光放电。因此，提高了溅射过程的工艺稳定性，同时，提高了介质膜的沉积速率数倍。
     1、沉积速率高，生产效率高；
     2、工作稳定，在靶材的寿命内，可以实现长期稳定的运行
     3、膜层结构致密，表面光滑，有效提高产品的耐盐雾性、耐磨性及产品表面硬度，满足了高性能膜层制备的需求。
     中频磁控溅射镀膜广泛应用于钟表首饰、厨卫洁具、日用五金、电子产品、汽车配件等的装饰膜，以及发动机用耐磨零件、刀具、模具等表面高硬度、抗磨损、抗腐蚀性膜的制备。
     可制备TiN、TiCN、TiC、TiO2、TiAlN、CrN、ZrN、类金刚石薄膜等金属化合物膜层，可镀制金色、玫瑰金、仿金、咖啡色、枪黑色、银白色、紫色、黑色、七彩色等颜色。
     备注：设备可根据客户要求定制。